低压真空等离子设备用于真空气路的控制阀如何分类？
文章导读：低压真空等离子设备能够在真空的环境下进行材料麻豆视频APP免费版的设备，设备的激发频率、激发能量、真空度、气体流量、腔体结构、气体特性都是设备的基本参数。真空气路控制的控制阀能够实现对气路的通断，从而控制真空度及其他参数。
用于低压真空等离子设备真空气路控制的控制阀，主要可分为三种，分别是高真空气动挡板阀、电磁真空带充气阀、手动高真空角阀，它们的工作原理大致相同，基本都可以通过控制阀来实现真空气路的通与断以及测压的功能，保障设备可靠稳定地运行，不同的是其各自所适用的设备种类有所区别。
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一、高真空气动挡板阀
高真空气动挡板阀也称GDQ，一般情况下低压真空等离子设备在短时间待机的情形下，真空泵会保持运行的状态，高真空气动挡板阀可用于接通以及切断真空管路中的气流，从而能够实现真空腔体内抽真空过程的开启和关闭。高真空气动挡板由压缩空气作为动力，具有运行稳定可靠、维护方便的优点，是三类真空气路控制阀中应用较为广泛的一种。
二、电磁真空带充气阀
电磁真空带充气阀属于电磁阀类的控制阀，主要使用在真空泵随运行参数而开启的低压真空等离子设备上。工作原理是：当真空泵开始运行，电磁真空带充气阀随之打开，当真空泵关闭，此时阀门线圈断电，阀门依靠机械力而关闭，可以防止真空泵内油气因真空腔体内负压而被倒吸。
电磁真空带充气阀具有安装简单的优点，但稳定性相对较差，如果长时间使用，阀门的磁力会衰退， 同时复位弹簧也容易出现反应迟缓的情况，目前这类控制阀大多是被应用于实验型的低压真空等离子设备。
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